在半導(dǎo)體制造這一高科技領(lǐng)域，生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性直接關(guān)乎產(chǎn)品的良率與性能。其中，潔凈室內(nèi)的濕度控制尤為關(guān)鍵，任何微小的濕度波動(dòng)都可能引發(fā)靜電積聚、材料吸附雜質(zhì)等問題，進(jìn)而影響產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。在此背景下，英國SHAW公司推出的Superdew 3在線露點(diǎn)儀，憑借其穩(wěn)定的測量精度與可靠性，成為半導(dǎo)體制造潔凈室濕度控制的精密衛(wèi)士。

Superdew 3露點(diǎn)儀專為工藝氣體和壓縮空氣設(shè)計(jì)，采用Shaw高電容氧化鋁傳感器，結(jié)合xian進(jìn)的數(shù)字電子技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對露點(diǎn)的高精度測量，系統(tǒng)精度優(yōu)于±2°C（±3.6°F）。這一特性使得它能夠精準(zhǔn)捕捉潔凈室內(nèi)濕度的細(xì)微變化，為生產(chǎn)環(huán)境控制提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

半導(dǎo)體制造過程中，潔凈室內(nèi)的濕度需嚴(yán)格控制在極窄范圍內(nèi)，以確保晶圓加工、光刻、蝕刻等關(guān)鍵工序的順利進(jìn)行。Superdew 3露點(diǎn)儀通過其實(shí)時(shí)監(jiān)測功能，能夠持續(xù)跟蹤潔凈室內(nèi)的濕度變化，并通過易于閱讀的五字符LED顯示屏直觀展示數(shù)據(jù)，支持°C、°F、ppm(v)等多種單位顯示，極大地方便了操作人員的監(jiān)控與管理。

更為重要的是，Superdew 3露點(diǎn)儀配備了兩個(gè)wan全可編程的報(bào)警繼電器，當(dāng)潔凈室內(nèi)濕度超出預(yù)設(shè)安全范圍時(shí)，能夠立即觸發(fā)報(bào)警，提醒操作人員及時(shí)采取措施，防止?jié)穸犬惓ιa(chǎn)造成不良影響。這一功能對于保障半導(dǎo)體制造過程的連續(xù)性與穩(wěn)定性至關(guān)重要。

此外，Superdew 3露點(diǎn)儀的模擬輸出功能，使其能夠輕松集成到潔凈室環(huán)境控制系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與自動(dòng)化調(diào)節(jié)。通過實(shí)時(shí)傳輸露點(diǎn)數(shù)據(jù)，操作人員可以精準(zhǔn)掌握潔凈室內(nèi)濕度變化趨勢，及時(shí)調(diào)整空調(diào)、除濕等設(shè)備運(yùn)行參數(shù)，確保生產(chǎn)環(huán)境始終處于zui，佳狀態(tài)。

英國SHAW公司的Superdew 3在線露點(diǎn)儀，以其穩(wěn)定的測量精度、實(shí)時(shí)監(jiān)測能力與智能化控制功能，成為半導(dǎo)體制造潔凈室濕度控制的理想選擇，為半導(dǎo)體行業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了有力保障。

1. 儀器類型與用途：

• 類型：單通道在線露點(diǎn)儀        

• 用途：測量工藝氣體和壓縮空氣中的露點(diǎn)        

2. 外殼與防護(hù)：

• 面板安裝外殼防護(hù)等級：IP54        

• 前面板防風(fēng)雨等級：IP65        

3. 傳感器技術(shù)：

• 傳感器類型：Shaw超高電容氧化鋁傳感器        

• 精度：整體系統(tǒng)精度優(yōu)于±2°C（±3.6°F）露點(diǎn)

• 分辨率：0.1°C，0.1°F露點(diǎn)或0.1 ppm(v)

• 重復(fù)性：優(yōu)于±0.3°C（±0.54°F）露點(diǎn)

4. 測量范圍：

• 紫色范圍（P）：-100°C至0°C露點(diǎn)，0-6000 ppm(v)        

• 銀色范圍（S）：-100°C至-20°C露點(diǎn)，0-1000 ppm(v)        

• 灰色范圍（G）：-80°C至0°C露點(diǎn)，0-6000 ppm(v)        

• 紅色范圍（R）：-80°C至-20°C露點(diǎn)，0-1000 ppm(v)        

• 藍(lán)色范圍（BL）：-80°C至+20°C露點(diǎn)，0-23000 ppm(v)        

5. 顯示與輸出：

• 顯示：五字符LED顯示屏，可顯示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf        

• 報(bào)警繼電器：兩個(gè)wan全可編程的報(bào)警繼電器        

• 模擬輸出：標(biāo)配一個(gè)隔離的4-20 mA模擬輸出，量程可調(diào)        

6. 校準(zhǔn)與功能：

• 校準(zhǔn)功能：AutoCal校準(zhǔn)功能，提供可追溯至國際標(biāo)準(zhǔn)的校準(zhǔn)證書        

• 現(xiàn)場校準(zhǔn)：支持現(xiàn)場校準(zhǔn)和量程檢查        

7. 環(huán)境適應(yīng)性：

• 工作溫度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）

• 儲(chǔ)存溫度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）

• 工作濕度：*高95%RH非冷凝

8. 電氣特性：

• 工作電壓：90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC

• 電磁兼容性：符合EN 61326:2006標(biāo)準(zhǔn)        

9. 機(jī)械特性：

• 工作壓力：從1 kPa（0.01 barA）到*大值35,000 kPa（350 barA）

• 探頭材料：316不銹鋼

• 傳感器保護(hù)裝置：316燒結(jié)不銹鋼過濾器，50微米

10. 質(zhì)保與保修：

• 質(zhì)保期：工藝和零件缺陷的12個(gè)月